ROBOT & MOTION SYSTEM
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■   Operation Item
- x-y-z Axis Motion System

- 투과(Transmittance), 반사(Reflectance)
 
■   Application
- LCD 도광판, PCB, LED, OLED Micro Scopic Motion System
 
■   System Configuration
- X/Y Axis Stroke : 1300*900mm

- Sample Glass : 1310 * 910, Moving Area : 3200*2040mm

- Z-Axis Stroke : 50mm

- Positiong Repeatable : 3um

- Anti-Vibration Table

- Table Size : 1200*600*800mm
 
■   Hardware Dimension
 
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