AUTO COLLIMATOR
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■   검사항목(응용분야 : Total Beam Checker & 각종 수차 평가용)
- (Advances Curve Fitting Technology)

- Beam Spot Size(X, Y)

- Inspect Aberration(Coma, Astigmatism, Spherical)

- 1st order Gap & angle

- Excellent Repeatability, Quickly Analysis Response
  Including Computer & Software Package
 
■   Software
 
 
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